氮化硅薄膜

【计】 silicon nitride film

氮化的英语翻译：

【化】 azotizing
【医】 azotize; nitridation; nitrogenization

硅的英语翻译：

silicon
【医】 Si; silicium; silicon

薄膜的英语翻译：

film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film