光刻法

【计】 photolithography

光的英语翻译：

light; ray; honour; merely; naked; scenery; smooth
【化】 light
【医】 light; phot-; photo-

刻的英语翻译：

a quarter; chisel; in the highest degree; moment
【法】 superscription

法的英语翻译：

dharma; divisor; follow; law; standard
【医】 method
【经】 law